Fabricación de máscaras mediante tecnología láser

Capacidades tecnológicas y Campos de Aplicación

Fabricación de máscaras mediante tecnología laser

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Tecnología de grabación láser

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Grabadores láser: Generación del Master

Grabador láser versátil (UCM)

Dimensión crítica 0.5 m Tamaño de grabación: 300×200 mm Precisión absoluta: 1 m

Grabador láser para grandes longitudes (FAGOR)

Dimensión crítica 1 m Tamaño de grabación: 60×3200 mm Precisión absoluta: 0.5 m por metro

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LimpiezaVidrio Secado

ResinadoSecado

Ataque químico

Insolación

Revelado

PVD

Vidrio Cromado

Agua destiladaJabonesAclaradosUltrasonidos

InfrarrojosHorno

Vidrio Cromado Resinado

Horno

Master

Lámpara UV

Inmersión en reveladorDucha agua destiladaAclaradosSecado: Horno

Grabador Láser

Inmersión en resina

Inmersión en ácidoAclarado

Máscara

Vidrio Cromado Resinado selectivamente

Control de espesor de capa (microscopio confocal)

Autocontrol de viscosidad de resina

Control de calidad mediante microscopio confocal

Control de calidad mediante microscopio confocal y AFM

Deposición de Cromo

Salas limpias clase 100 y 1000

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Producto Final

CromoVidrio

120 µm

1 mm

Spot: 0.5 - 5 µm

Raster Scan

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Campos de Aplicación

• Máscaras Fotolitográficas– Microelectrónica– MEMs– Microfluídica– Microarrays de ADN

• Implantación iónica

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Campos de Aplicación

• Retículas• Tarjetas de

Calibración• Óptica Difractiva

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Aplicación en metrología óptica

• Codificadores ópticos (FAGOR Automation) empleados en máquina herramienta