INSTRUCCIÓN DE SECUENCIA DE OPERACIÓN 1/3 Procedi… · INSTRUCCIÓN DE SECUENCIA DE OPERACIÓN...
8
MEMS Verificar que estén alimentadas las líneas de agua y aire (se encuentran detrás de la máquina, Se encuentran Cerrados. En esta posición se encuentran abiertas INSTRUCCIÓN DE SECUENCIA DE OPERACIÓN Modelos TODOS Estación Revelado Área CICTA Realizo Manuel Pizarro Fecha Oct/ 15/ 12 Departamento Revisión 1 Operación: DEPOSICION DERESINA S1813 Instrucción CICTA001 Turn on (switch detrás de la máquina). Turn on (girar llave del frente de la máquina) 1/ 3 System Initial Material QTY Material QTY Equipo y Herramienta Documentos de Ref. Guantes Blue Tape Main Frame 1 1 1 Chip 1 Manual Máquina DAD3220 Procedimiento conforme a la norma ISO9001 Ingeniería Aprobado Fecha Una vez presionado debe de ponerse el cuadro en color azul, esto indica que esta en ON. Alarm/Clr para desactivarla Checar presión/nivel de agua Air sobre la línea amarilla (Abriendo la línea espiral debe de quedar sobre 0.5) El nivel del agua debe estar sobre 1
Transcript of INSTRUCCIÓN DE SECUENCIA DE OPERACIÓN 1/3 Procedi… · INSTRUCCIÓN DE SECUENCIA DE OPERACIÓN...
MEMS
Verificar que estén alimentadas las
líneas de agua y aire (se encuentran
detrás de la máquina, Se encuentran
Cerrados.
En esta posición se encuentran
abiertas
INSTRUCCIÓN DE SECUENCIA DE OPERACIÓN
Modelos TODOS Estación Revelado Área CICTA
Realizo Manuel Pizarro Fecha Oct/ 15/ 12 Departamento Revisión 1
Operación: DEPOSICION DE RESINA S1813
Instrucción CICTA001
Turn on (switch detrás de
la máquina). Turn on
(girar llave del frente de
la máquina)
1/3
System Initial
Material QTY Material QTY Equipo y Herramienta Documentos de Ref.
Guantes
Blue Tape
Main
Frame
1
1
1
Chip 1 Manual Máquina DAD3220
Procedimiento conforme a
la
norma ISO9001
Ingeniería Aprobado Fecha
Una vez presionado debe de
ponerse el cuadro en color azul,
esto indica que esta en ON.
Alarm/Clr para desactivarla Checar presión/nivel de agua
Air sobre la línea amarilla
(Abriendo la línea espiral debe
de quedar sobre 0.5)
El nivel del agua debe estar
sobre 1
INSTRUCCIÓN DE SECUENCIA DE OPERACIÓN
Modelos TODOS Estación Revelado Área CICTA
Realizo Departamento MEMS Manuel Pizarro Fecha Oct/ 15/ 12 Revisión 1
Operación: DEPOSICION DE RESINA S1813
Instrucción CICTA001
2/3
System initial verificar que este en
azul
Cutting Water (esperar de 1 a 2
minutos)
Cutting Water apagarlo
Spindle OFF
Presionar para que se ponga el
cuadro azul para que este activado
Material QTY Material QTY Equipo y Herramienta Documentos de Ref.
Guantes
Blue Tape
Main
Frame
1
1
1
Chip 1 Manual Máquina DAD3220
Procedimiento conforme a
la
norma ISO9001
Ingeniería Aprobado Fecha
Activarlo
INSTRUCCIÓN DE SECUENCIA DE OPERACIÓN
Modelos TODOS Estación Revelado Área CICTA
Realizo Departamento MEMS Manuel Pizarro Fecha Oct/ 15/ 12 Revisión 1
Operación: DEPOSICION DE RESINA S1813
Instrucción CICTA001
2/3
Verificar la posición del frame
El tape es por debajo del frame
Se presiona evitando dejar burbujas en la
oblea y frame
Se corta el sobrante del tape
Se posiciona el frame en el plato de
la máquina, dejando alineados los
bordes de ambos
Se posiciona la oblea en el centro del
frame, Se corta el tape y se deja caer
sobre el frame y la oblea
Material QTY Material QTY Equipo y Herramienta Documentos de Ref.
Guantes
Blue Tape
Main
Frame
1
1
1
Chip 1 Manual Máquina DAD3220
Procedimiento conforme a
la
norma ISO9001
Ingeniería Aprobado Fecha
Preparacion de Obleas
C/T Vacuum
Verificar que el nivel este por
arriba de la línea amarilla
(Abriendo la línea espiral debe
quedar sobre 0.7)
Activarlo
INSTRUCCIÓN DE SECUENCIA DE OPERACIÓN
Modelos TODOS Estación Revelado Área CICTA
Realizo Departamento MEMS Manuel Pizarro Fecha Oct/ 15/ 12 Revisión 1
Operación: DEPOSICION DE RESINA S1813
Instrucción CICTA001
2/3
Presionar el Boton indicado
Seleccionar el folder (A la izquierda) y
luego seleccionar el archivo deseado (A la
derecha)
Presionar ENTER
Se desplegará la información del
archivo selecciado
Seleccionar un folder (Ivan)
Seleccionando el folder
Seleccionar un archivo
(Accelerometro)
Material QTY Material QTY Equipo y Herramienta Documentos de Ref.
Guantes
Blue Tape
Main
Frame
1
1
1
Chip 1 Manual Máquina DAD3220
Procedimiento conforme a
la
norma ISO9001
Ingeniería Aprobado Fecha
Exit
Exit (hasta que aparezca la ventana principal)
Los pasos de la 9 a la 18 son para definir parámetros de corte:
Inch
Establecer el tamaño del wafer (6in, es el tamaño del plato de la
máquina)
Enter
Establecer la altura del disco (Blade Height)
Channel 1
SEQ1
0.065 grosor del tape
INSTRUCCIÓN DE SECUENCIA DE OPERACIÓN
Modelos TODOS Estación Revelado Área CICTA
Realizo Departamento MEMS Manuel Pizarro Fecha Oct/ 15/ 12 Revisión 1
Operación: DEPOSICION DE RESINA S1813
Instrucción CICTA001
2/3
F4 Cutting Semiautomatic
F4 Manual Align
Ajustar luz
F2 Manual Operation
Material QTY Material QTY Equipo y Herramienta Documentos de Ref.
Guantes
Blue Tape
Main
Frame
1
1
1
Chip 1 Manual Máquina DAD3220
Procedimiento conforme a
la
norma ISO9001
Ingeniería Aprobado Fecha
Esta altura es calculada con el grosor del
tape y grosor de la oblea
Enter
Feed Speed 10mm/sec (SI)
Y index 0 si no se tiene patrón, solo se
hará una línea
Sindle Rev 30000/min
Enter
Exit
Exit
Dejar presionado por la
cantidad de tiempo
especificada Verificar la posición de la luz en la oblea y
moverse con el touch sceen para alinear el
primer pivote
INSTRUCCIÓN DE SECUENCIA DE OPERACIÓN
Modelos TODOS Estación Revelado Área CICTA
Realizo Departamento MEMS Manuel Pizarro Fecha Oct/ 15/ 12 Revisión 1
Operación: DEPOSICION DE RESINA S1813
Instrucción CICTA001
2/3
Una vez posicionado en el primer
pivote se presiona F5 Align
Para hacer la verificación de que el recorrido
del corte sea el correcto se sugiere que se
mueva con las flechas del scan.
Material QTY Material QTY Equipo y Herramienta Documentos de Ref.
Guantes
Blue Tape
Main
Frame
1
1
1
Chip 1 Manual Máquina DAD3220
Procedimiento conforme a
la
norma ISO9001
Ingeniería Aprobado Fecha
Con estos
puntos que se
encuentran en
el Touch Screen
el usuario se
basa para
seleccionar un
pivote o punto
deseado.
Con la cruz del medio se
define los pivotes deseados.
Una vez identificado el pivote se
presiona Align.
Buscar el segundo pivote
y presionar F5 Align
Utilizar Scan y hi-speed para
verificar la ruta del corte
para evitar cortar en lugares
indeseados
Con las flechas hace que se
desplace la cámara para poder
escoger los puntos deseados.
Con Hi-speed aceleras la
velocidad de movimiento de lo
mencionado anteriormente.
INSTRUCCIÓN DE SECUENCIA DE OPERACIÓN
Modelos TODOS Estación Revelado Área CICTA
Realizo Departamento MEMS Manuel Pizarro Fecha Oct/ 15/ 12 Revisión 1
Operación: DEPOSICION DE RESINA S1813
Instrucción CICTA001
2/3
Direct
Material QTY Material QTY Equipo y Herramienta Documentos de Ref.
Guantes
Blue Tape
Main
Frame
1
1
1
Chip 1 Manual Máquina DAD3220
Procedimiento conforme a
la
norma ISO9001
Ingeniería Aprobado Fecha
Presionar Direct
Measure
Clear to 0
Exit
Exit
Rear (asegurarse que en la pantalla aparezca la
selección)
Presionar Rear
Tiene que aparecer
REAR para pasar a lo
siguiente
Start (asegurarse que en la pantalla
aparezca la operación)
INSTRUCCIÓN DE SECUENCIA DE OPERACIÓN
Modelos TODOS Estación Revelado Área CICTA
Realizo Departamento MEMS Manuel Pizarro Fecha Oct/ 15/ 12 Revisión 1
Operación: DEPOSICION DE RESINA S1813
Instrucción CICTA001
2/3
Material QTY Material QTY Equipo y Herramienta Documentos de Ref.
Guantes
Blue Tape
Main
Frame
1
1
1
Chip 1 Manual Máquina DAD3220
Procedimiento conforme a
la
norma ISO9001
Ingeniería Aprobado Fecha
Pausar la operación presionando nuevamente Start,
asegurarse que en la pantalla aparezca la operación
Esperar que termine el corte
Stop 2
Verificar que el corte esta alineado con las marcas en la
pantalla
Si esta desalineada Stop
Align
F5 Hairline ADJ
Stop
Stop Operation
Alarm/Clr
Direct
Measure
Presionar el icono
Utilizar las herramientas para girar el plato
Presionar nuevamente
Clear to 0
Desplazar con Scan hasta el sitio del corte, en la pantalla Measure del
menú Direct aparece la medida del desplazamiento
Exit
Rear (verificar que aparezca en la pantalla la opción)
Start (verificar que aparezca en la pantalla la operación)
Start para pausar después de que termine el corte
Stop 2
Lighting Adjust para verificar que el corte este alineado con la marca en
la pantalla
Stop Operation
Direct para salir del menú
C/T Vacuum para soltar el frame
Limpiar el agua con la línea espiral
Apagar la máquina
Apagar spindle verificar que este apagado y lo indique en pantalla
Turn OFF con la llave, asegurarse que no este nada corriendo
Esperar que todo se apague completamente para quitar la alimentación
de agua y aire
Apagar switch de atrás
